真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。⑹正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：2bv系列水环真空泵工作压强范围760mmhg~25mmhg（绝压），在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化（详细变化情况参照泵的性能曲线），莱宝sv300b真空泵销售，其稳定的工作压强范围为760~60mmhg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内较为适宜，而不能让它在25~30mmhg下长期工作。
德国贝克(becker)真空泵类型：
1.油润滑旋片式真空泵
u4.20~u4.630
抽速： 18~638m3/h
真空度：0.5~3mbar
2.无油旋片式真空泵
vt4.4~vt4.40
kvt3.60~kvt3.140
vtlf200~vtlf500
抽速： 4~40m3/h
55~129m3/h
178~498m3/h
真空度：100~250mbar
3.无油旋片式压力/真空泵
t4.25dsk~t4.40dsk
dvt3.60~dvt3.140
抽速:25~137m3/h
真空泵压力：--正负600mbar
在确定了工艺要求的真空度的基础上检查真空泵系统的---真空度，因为系统的---真空度决定了系统的---的工作真空度。一般来讲，系统的---真空度比系统的工作真空度低20%，比前级泵的---真空度低50%。检查确定工艺要求的抽气种类与抽气量。因为如果被抽气体种类与泵内液体发生反应，泵系统将被污染。同时必须考虑确定合适的排气时间与抽气过程中产生的气体量。检查确定达到要求的真空度所需要的时间、真空管道的流阻与泄漏。考虑达到要求真空度后在一定工艺要求条件下维持真空需要的抽气速率。
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